硅片清洗超純水設備可以有效的去除污染物以及深度除鹽，清洗用硅片清洗超純水設備是根據用戶的特殊需求設計生產的新型水處理設備，可以根據實際用量，調整設備的出水量，避免造成不必要的浪費。今天，小編就給大家介紹下清洗硅片清洗超純水設備的常用工藝流程吧。

1、采用離子交換方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點。

第一種采用離子交換樹脂其優點在最初投資少，占用的地方少。

2、采用兩級反滲透方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→第一級反滲透→PH調節→中間水箱→第二級反滲透(反滲透膜表面帶正電荷)→純化水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點。

第二種采用兩級反滲透設備，其特點為初投次比采用離子交換樹脂方式要高，但無須樹脂再生。

3、采用EDI方式，其流程如下：

原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透機→中間水箱→中間水泵→EDI系統→微孔過濾器→用水點。

第三種采用反滲透作預處理再配上電去離子(EDI)裝置，這是目前制取超純水比較經濟和環保的超純水設備制備工藝，不需要用酸堿進行再生便可連續制取超純水，對環境沒什么破壞性。

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