1.可以從設備細節方面入手，保障超純水設備各種連接管件閥門嚴密，不會發生泄漏情況，防止污染。

2.從超純水設備使用的材料方面來看，可以確保相關管件與膠水等用品達到應用標準。

3.在設備停止使用時，應采用循環清洗工藝，以免產生死水殘留。長時間不用時，應將水全部放掉以防止污染。

4.設備的儲水箱應采用優質不銹鋼材質，而且不能具有透光性，以免在日光作用下產生化學反應。純水儲桶最好安裝空氣過濾器，防止環境因素造成的污染。

5.超純水設備初期的排水不穩定，所以不能使用，要等超純水設備的出水水質穩定后再使用。使用時請不要在終端濾器后再連接軟管，使用直接取水的方式才能獲得純度高的超純水。

6.要確保水容器安靜清潔。

7.取水時讓產水沿著容器側壁流入，避免進入空氣，產生空氣污染，造成水質下降。

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